Pura Plus在線微量濕度異動變送器介紹

新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業對于設備尺寸和指標的最新需求變化而特殊設計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應最末端，用來監測超純惰性氣體的應用。工廠內氣體系統分布復雜，涉及到很多分支、節點和使用點。因此在常規的濕度監測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統設計、元件故障或過程出錯等等原因導致濕氣滲入，影響下游使用。而安裝在分布系統中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應指示，在 20 ppb 濕氣級別下 
1 ppb 的異動的響應時間小于1 分鐘。

 Pura Plus在線微量濕度異動變送器技術指標